机译:环戊二烯基和臭氧前体的原子层沉积法生长的锆和Ha氧化物高k栅极电介质的电性能
机译:用于高κ栅极电介质应用的原子层沉积氧化f膜:纳米薄膜的密度分析
机译:原子层沉积法生长的氧化镧Thin薄膜作为替代栅介质的特性
机译:氧化锆/氧化硅合金的远程等离子体增强金属有机化学气相沉积,(ZrO_2)_x-(SiO_2)_(1-x)(x <= 0.5),用于高级高k栅极电介质的薄膜
机译:用于高k栅极电介质的氧化锆和氧化ha薄膜的沉积,稳定化和表征。
机译:紫外/臭氧后处理对低温氧化薄膜晶体管的超声喷涂氧化锆介电膜的影响
机译:纳米晶嵌入锆掺杂的氧化Ha高k栅介质膜