机译:使用灰度光刻制造与CMOS兼容的光学滤波器阵列
机译:使用具有高能束敏感玻璃的模拟灰度光刻技术制造用于平面光学互连的微棱镜
机译:通过原位光学光刻和电子束光刻相结合的确定性制造与单个量子发射器耦合的圆形布拉格光栅
机译:低损耗光栅耦合光学接口,可用于深紫外光刻的大批量制造
机译:使用灰度光刻和深反应离子刻蚀开发深硅相菲涅耳透镜
机译:用常规的紫外光刻和微细加工技术制备具有窄缝孔的多层聚合物微筛
机译:低损耗光栅耦合光学界面,用于大量制造具有深紫外光学光刻
机译:基于有机聚合物OptiaveWides的NxN光耦合器的设计与制作