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机译:以单甲基硅烷为硅源的等离子体化学气相沉积薄膜沉积硅结合的类金刚石碳
机译:垂直电容器电极通过等离子增强化学气相沉积制备的类金刚石碳膜的表征
机译:等离子体增强了硅薄膜的化学气相沉积:利用等离子体诊断技术表征不同频率和气体成分下的薄膜生长。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
机译:射频和微波等离子体增强化学气相沉积法沉积碳氮化硼(BCN)薄膜的表征