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窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製

机译:使用氮化钽阳极氧化膜制造具有优异耐热性的薄膜电容器

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摘要

研究代表者 佐々木 克孝 // 科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告 // 平成7年度 // 研究課題番号:06555087 // 資料ID:00008626996
机译:研究代表者 佐々木 克孝 // 科学研究费补助金(基盘研究(B)(1))研究成果报告 // 平成7年度 // 研究课题番号:06555087 // 资料ID:00008626996

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