タンタル系固溶体合金の陽極酸化膜による薄膜コンデンサの作製とその信頼性の評価

机译：钽固溶合金阳极氧化膜制备薄膜电容器及其可靠性评估

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研究代表者佐々木克孝 // 科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書 // 平成13-14年度 // 研究課題番号：13650329 // 資料ID:00008668527

机译：研究代表者佐々木克孝 // 科学研究费补助金(基盘研究(C)(2))研究成果报告书 // 平成13-14年度 // 研究课题番号：13650329 // 资料ID:00008668527

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作者
佐々木克孝; 阿部良夫; 川村みどり; 山根美佐雄; 新海聡子; Sasaki Katsutaka; Abe Yoshio; Kawamura Midori; Yamane Misao; Shinkai Satoko;
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作者单位

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年度 2003
总页数
原文格式 PDF
正文语种 ja
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