机译:用于与CMOS逻辑集成的纳米机械开关
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机译:基于CMOS MEMS的膜 - 桥纳米机械传感器,用于小分子检测
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机译:利用全局反馈的CMOS(互补金属氧化物半导体)图像传感器的模拟读出方法
机译:应力诱导的纳米机械挠度转换的基于光学干涉术的CMOS-MEMS传感器
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机译:芯片上的微机械传感器系统:mEms与CmOs的集成及其应用