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Simultaneous measurement of optical and RF behavior under CW and pulsed Fully Active Harmonic Load-Pull

机译:在连续波和脉冲全有源谐波负载牵引下同时测量光学和RF行为

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摘要

Here we present a system capable of simultaneous measurements of the RF and optical behavior of on-wafer devices, permitting the complete range of Fully Active Harmonic Load-Pull techniques to be employed while either observing optical phenomena such as Electroluminescence, or applying optical stimuli for trapping investigations. Full access to the backside of the wafer is achieved, allowing measurements on devices with source coupled field plates or air bridges, which normally obscure the gate region. Electroluminescence can be observed with an ultra-low light camera or a spectrometer. The test device was a GaN on silicon carbide HFET.
机译:在这里,我们介绍了一种能够同时测量晶圆上设备的射频和光学性能的系统,允许使用全范围的有源谐波负载牵引技术,同时观察诸如电致发光之类的光学现象,或对光学现象施加光刺激。诱捕调查。可以完全进入晶圆背面,从而可以在带有源极耦合场板或气桥的设备上进行测量,这些设备通常会掩盖栅极区域。可以使用超低照度相机或光谱仪观察电致发光。测试设备是碳化硅HFET上的GaN。

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