机译:添加到氩氮溅射气体中的氢含量和衬底偏置电压的参数空间,以通过不平衡磁控溅射法形成立方氮化硼薄膜
机译:纳米晶金刚石膜的插入和沉积过程中的氢气添加,以改善通过不平衡磁控溅射法沉积的立方氮化硼薄膜的附着力
机译:射频偏置磁控溅射沉积六方氮化硼薄膜的光学性质
机译:反应磁控溅射沉积氮化铬薄膜的粘附分析
机译:硼氮化硼薄膜沉积在RF磁控溅射
机译:通过磁控溅射中氮流量的氮气流量调节的Ti-Zr三元氮化物薄膜的结构组成和等离子体特性
机译:反应磁控溅射沉积Si3N4–MoS2薄膜的物理化学,结构,力学和摩擦学特性