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【2h】

Design, Analysis and Fabrication of Micro Optical Systems involving UV-Deep Lithography - with an Application in Atomic Physics

机译:涉及深紫外光刻的微光学系统的设计,分析和制造-在原子物理学中的应用

著录项

  • 作者

    Liu Xiyuan;

  • 作者单位
  • 年度 2008
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种
  • 中图分类

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