rfマグネトロンスパッタ法によるLiNbO3薄膜の作製とその弾性表面波特性に関する研究

机译：射频磁控溅射制备LiNbO 3薄膜及其表面声波特性的研究

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作者
西田貴司;
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年度 1998
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正文语种 jpn
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