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【2h】

Coordination and interface analysis of atomic-layer-deposition Al2O3 on Si(001) using energy-loss near-edge structures

机译：Si（001）上原子层沉积Al2O3的能量损失近缘结构的配位和界面分析

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作者
Kimoto K; Matsui Y; Nabatame T; Yasuda T; Mizoguchi T; Tanaka I; Toriumi A;
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年度 2003
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正文语种 eng
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