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【2h】

Si emission from the SiO2/Si interface during the growth of SiO2 in the HfO2/SiO2/Si structure

机译：HfO2 / SiO2 / Si结构中SiO2生长期间SiO2 / Si界面的Si发射

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作者
Ming Z; Nakajima K; Suzuki M; Kimura K; Uematsu M; Torii K; Kamiyama S; Nara Y; Yamada K;
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作者单位

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年度 2006
总页数
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正文语种 eng
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