SiC{0001}上AｌＮ層における拡張欠陥の発生機構と初期成長制御によるその低減

机译：SiC {0001}上AlN层中扩展缺陷的产生机理及其通过初始生长控制的减少

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Kyoto University (京都大学)

机译：京都大学

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Okumura Hironori;
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年度 2012
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正文语种 eng
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