Multiple reflections of light in the prism coupler

摘要

Рассматривается проблема многократных отражений света в призме связи при волноводной спектроскопии тонких пленок. В рамках двумерной лучевой модели сформулированы алгоритмы расчета траектории светового луча и отражательной способности треугольной призмы связи. Предложены и проиллюстрированы расчетами критерии оптимального выбора углов и оси вращения призмы связи, предполагающие стабилизацию точки ввода излучения в исследуемую слоистую среду и минимизацию влияния лучей высших порядков на отражательную способность призмы связи. Представлены примеры решения обратной задачи волноводной спектроскопии двухслойной структуры оксинитрида кремния на кремниевой подложке.