机译:快速热退火工艺对电子回旋共振法沉积SiNx:H薄膜性能的影响
机译:PECVD SINX沉积工艺参数对SINX / ALGAN / GAN结构电性能的影响
机译:金属有机化学气相沉积法表征AlN / GaN异质结构上生长的原位SiNx薄膜
机译:电子回旋共振等离子体化学气相沉积法制备介电薄膜在半导体光电器件中的应用
机译:通过光子辅助的电子回旋共振化学气相沉积法生长的非晶和微晶硅薄膜,用于异质结太阳能电池和薄膜晶体管。
机译:探索原子薄SiNx中间层在超薄碳膜结构中的作用
机译:快速热退火对电子回旋共振沉积的SiO2和SiNx:H薄膜的结构性质和缺陷密度的影响