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机译:电子回旋共振等离子体沉积的氮化硅薄膜增强了微机械系统应用中的化学气相沉积
机译:电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积微细加工过程中氮化硅薄膜的应力和成分分析
机译:电子回旋共振(ECR)等离子体增强化学气相沉积法沉积氮化硅薄膜的湿法刻蚀研究
机译:电子回旋共振(ECR)等离子体增强化学气相沉积硅氮化物膜的湿法刻蚀研究
机译:微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积法沉积的纳米晶和非晶硅薄膜晶体管:材料分析,器件制造和表征。
机译:与原子的电子和几何结构相关层沉积BaTiO3的电性能
机译:低氮含量等离子体沉积和快速热退火的电气表征Al / Sinx:H / InP金属 - 绝缘体 - 半导体结构
机译:氮化硅钝化层变化对电子辐照氮化铝镓/氮化镓HEmT结构的影响