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机译:通过氧化扫描探针光刻制造蚀刻掩模和电子纳米器件
Cho Yu Kyoung Ryu;
机译:通过扫描探针氧化和各向异性湿法刻蚀制备硅基多层纳米结构
机译:通过扫描探针显微镜纳米光刻技术通过纳米氧化掩模制备纳米间隙电极
机译:通过场发射扫描探针光刻和低温蚀刻制造光学纳米器件
机译:电化学刻蚀法制备适用于扫描探针显微镜的钨棒
机译:通过催化扫描探针光刻在氧化石墨烯上直接写入电子设备
机译:通过现场 - 发射扫描探针光刻和低温蚀刻制造光学纳米型制造
机译:光圈,例如对于扫描探针显微镜传感器元件,通过在半导体晶圆背面蚀刻所暴露的凹陷处通过氧化层进行蚀刻来生产颗粒筛或液体或气体计量和/或注入基质
机译:探针,用于形成探针的蚀刻面罩以及使用蚀刻面罩的探针制造方法
机译:通过在氧化铬或铬掩膜层上提供掩膜,蚀刻氧化铬或铬掩膜层,并在等离子体中使用硬掩膜选择性蚀刻难熔金属氮化硅相移层来生产半色调相掩膜
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