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Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución

机译:光学参考信号的生成,用于高分辨率绝对定位

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摘要

El estudio de la generación y detección de señales de referencia es fundamental para el posicionado absoluto en codificadores ópticos y en alineadores de máscaras en fotolitografía. En la memoria de Tesis Doctoral se presenta un análisis de la tecnología actual utilizada para la detección absoluta de la posición en ambos sistemas. En el análisis se ponen de manifiesto las semejanzas y diferencias entre la codificación óptica absoluta y el alineamiento de máscaras, así como la posibilidad de aplicar técnicas de generación de señales similares en los dos ámbitos de aplicación. Se estudian los problemas de la tecnología existente en los dos campos y se proponen nuevas técnicas para la generación de señales de referencia, eliminando las restricciones que hasta ahora existían. También se proponen nuevos métodos de detección de la señal que resuelven el problema que provoca la difracción de la luz en su propagación en la etapa absoluta de los codificadores ópticos.
机译:对参考信号的产生和检测的研究对于光刻中光学编码器和掩模对准器的绝对定位至关重要。博士学位论文报告中介绍了两种系统中用于绝对位置检测的当前技术的分析。分析揭示了绝对光学编码和掩模对准之间的异同,以及在两个应用领域中都采用类似信号发生技术的可能性。研究了这两个领域中现有技术的问题,并提出了用于生成参考信号的新技术,从而消除了迄今为止存在的限制。还提出了新的信号检测方法,该方法解决了光在光学编码器绝对级中传播过程中由光的衍射引起的问题。

著录项

  • 作者

    Saez Landete José;

  • 作者单位
  • 年度 2006
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 es
  • 中图分类

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