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【2h】

A fully automated hot-wall multiplasma-monochamber reactor for thin film deposition

机译：全自动热壁多等离子体单室薄膜沉积反应器

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Roca i Cabarrocas P. (Pere); Chevrier J. B.; Huc J.; Lloret A.; Parey J. Y.; Schmitt J. P. M.;
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年度 2012
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