机译:等离子体压缩化学气相沉积制备立方晶氮化硼薄膜中残余压缩应力引起的六方氮化硼红外吸收频移
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机译:等离子体增强化学气相沉积的大面积硅 - 氮化物薄膜沉积的参数研究和残余气体分析
机译:准分子激光诱导气体混合物中氮化硼薄膜的化学气相沉积
机译:通过等离子增强化学气相沉积在聚合物基材上沉积无机薄膜。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积制备碳化硼(B \ u3csub \ u3e5 / sub3)薄膜的光学特性