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Nouvelles technologies de fabrication associées aux composants photoniques hybrides

机译:与混合光子组件相关的新制造技术

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摘要

Afin de rendre les télécommunications optiques disponibles au plus grand nombre, le rapport coût/fonctions entrainé par la production de composants photoniques doit être fortement réduit. Or, un procédé permet de repousser les limites des dispositifs classiques basés sur un seul matériau. Il s'agit de l'intégration hybride. Cette technique fait intervenir deux échantillons ou plus pour optimiser les composants. C'est pourquoi ce projet de maîtrise s'est concentré sur le développement de nouvelles technologies de fabrication pouvant appuyer l'hybridation. En fait, ce document aborde le sujet à partir des trois directions suivantes: Direction 1: Collage moléculaire basse température à base de titane oxydé par plasma. Dans ce premier cas, le but est d'obtenir des collages moléculaires dont la forte adhésion permet de faire de l'intégration hybride en dessous de 300 [degrés Celsius]. Pour y arriver, une couche intermédiaire de titane oxydé par plasma est utilisée. Cela rend possible le collage d'échantillons de petites tailles, de matériaux différents et possédants des microstructures. Direction 2: Intégration de réseaux de Bragg verticaux dans des circuits planaires optiques. Dans ce second cas, le but est d'intégrer des réseaux de Bragg verticaux sur des branches de jonctions"Y" grâce à une lithographie mixte (photolithographie et électrolithographie combinés). Cela rend possible l'étude de dispositifs non disponibles commercialement. Direction 3: Coupleur SU-8/Silicium à faibles pertes. Dans ce dernier cas, le but est de faire le prototypage rapide de coupleurs dont les simulations prédisent une grande efficacité de couplages (>75%). Ces composants tirent profit de la plateforme silicium-sur-isolant (SOI ) et d'une photorésine, la SU-8. Cela rend possible la fabrication et le test de la première génération de ces coupleurs. L'ensemble de ces travaux ouvre la voie à des projets de microfabrication de dispositifs photoniques hybride complets et fonctionnels à l'Université de Sherbrooke.
机译:为了使尽可能多的人可以使用光通信,必须大大降低光子组件生产所带来的成本/功能比。然而,一种方法使得可以基于单一材料来突破常规装置的极限。这是混合集成。该技术涉及两个或多个样本以优化组件。这就是为什么这个硕士项目专注于开发可以支持杂交的新制造技术的原因。实际上,该文献从以下三个方向研究该主题:方向1:基于等离子体氧化钛的低温分子键合。在第一种情况下,目标是获得分子键,其强粘合力使杂化整合度低于300摄氏度成为可能。为此,使用等离子体氧化钛的中间层。这使得可以粘合小尺寸,不同材料并具有微结构的样品。方向2:在光学平面电路中集成垂直布拉格光栅。在第二种情况下,由于混合光刻技术(光刻和电光刻技术的结合),目标是在“ Y”形结的分支上集成垂直布拉格光栅。这使得研究非市售设备成为可能。方向3:SU-8 /低损耗硅耦合器。在后一种情况下,目标是快速建立耦合器原型,该耦合器的仿真预测出较高的耦合效率(> 75%)。这些组件利用了绝缘体上硅(SOI)平台和光刻胶SU-8的优势。这样就可以制造和测试第一代这些耦合器。所有这些工作为舍布鲁克大学的完整和功能性混合光子器件的微细加工项目铺平了道路。

著录项

  • 作者

    Beaudin Guillaume;

  • 作者单位
  • 年度 2009
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 fre
  • 中图分类

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