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机译:用于硅中超浅结的锑植入物。
Al-Zanki Talal.;
机译:硼注入超浅结的损伤和退火恢复:束流与表面构型的关系
机译:用于低热预算应用的共注入硅超浅结的形成
机译:Si-和Si_xGe_(1-x)超浅结注入后和高级快速热退火中硼扩散的非高斯局部密度扩散(LDD-)模型。
机译:应变硅中超浅结的增强锑激活
机译:使用等离子体浸没离子注入和外延二硅化钴作为掺杂源的超浅结制造。
机译:金属植入物:髋关节植入物锥形结释放金属离子的原子尺度起源(Adv。Sci。5/2020)
机译:B18H22离子注入形成超浅结
机译:互补结狭窄植入物,用于形成超浅结
机译:互补结狭窄植入物,用于超浅结
机译:利用快速热法激活离子注入并在结上形成扩散壁垒形成半导体器件超浅结的方法
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