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机译:使用具有大数值孔径的扫描仪进行高速,高精度的Fs激光写入
Gottmann Jens; Hörstmann-Jungemann Maren; Hermans Martin; Beckmann Dennis;
机译:使用大数值孔径的扫描仪进行高速高精度Fs激光写入
机译:高数值孔径的极紫外扫描仪,适用于8纳米及以上的光刻
机译:通过直接激光写入光刻制造的大型高值孔径超级振荡镜
机译:FS激光直接写入表面和透明材料体积的高速制备期周期纳米结构
机译:应用于晶圆扫描仪系统的高精度运动控制的迭代方法。
机译:高数值孔径的低温光学显微镜可提高超分辨率重建的精度
机译:高速光栅扫描同步串行微晶,具有高精度压电扫描仪
机译:用于分层梯度折射率微透镜的高数值孔径光机械扫描仪,方法和应用
机译:层状梯度指数微透镜的高数值孔径光机扫描仪,方法和应用
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