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Neue amin- und azidsubstituierte Silane sowie Untersuchungen zur Eignung dieser Verbindungen für die Abscheidung von Silicium(IV)nitrid aus der Gasphase bei niedrigen Drücken

机译:新的胺和叠氮化物取代的硅烷,以及这些化合物在低压下从气相沉积氮化硅(IV)的适用性的研究

著录项

  • 作者

    Rief Thomas;

  • 作者单位
  • 年度 2001
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 {"code":"de","name":"German","id":7}
  • 中图分类

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