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机译:氮化铝镓/氮化镓金属有机化学气相沉积工艺中的实时原位化学传感,可进行高级过程控制。
机译:使用通过金属有机化学气相沉积法生长的原位GaN纳米结构的无磷白光发射器
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机译:高温制造过程的原位传感与控制:金属有机化学气相沉积(mOCVD)工艺的多传感神经控制