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In situ-grown hexagonal silicon nanocrystals in silicon carbide-based films

机译：碳化硅基薄膜中的原位生长六角形硅纳米晶体

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作者
Tae-Youb Kim; Chul Huh; Nae-Man Park; Cheol-Jong Choi; Maki Suemitsu;
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年度 2012
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