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机译:具有不确定性的MIMO二阶双曲分布参数系统的迭代学习控制
Xisheng Dai; Chao Xu; Senping Tian; Zhenglin Li;
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机译:包括迭代学习电路的位置控制设备,曝光设备,制造设备的方法以及用于具有迭代学习电路的位置控制设备的迭代学习方法,包括学习过滤器
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