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【2h】

Maskless and low-destructive nanofabrication on quartz by friction-induced selective etching

机译：摩擦诱导选择性刻蚀在石英上进行无掩模低破坏性纳米加工

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Chenfei Song; Xiaoying Li; Shuxun Cui; Hanshan Dong; Bingjun Yu; Linmao Qian;
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年度 2013
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1. Maskless and low-destructive nanofabrication on quartz by friction-induced selective etching [J] . Chenfei Song, Xiaoying Li, Shuxun Cui, Nanoscale Research Letters . 2013,第1期

机译：摩擦诱导选择性刻蚀在石英上进行无掩模低破坏性纳米加工
2. Effect of scan parameters and etching temperature on low-destructive nanofabrication of quartz [J] . Song C., Yu B., Qian L. Micro & Nano Letters, IET . 2013,第10期

机译：扫描参数和蚀刻温度对石英低破坏纳米加工的影响
3. Rapid and maskless nanopatterning of aluminosilicate glass surface via friction-induced selective etching in HF solution [J] . Song Chenfei, Yu Bingjun, Wang Mian, RSC Advances . 2015,第97期

机译：通过在HF溶液中通过摩擦诱导的选择性蚀刻快速和无掩模纳米件的铝硅酸盐玻璃表面
4. Uniformalization of the AT cut quartz crystal wafer using maskless localized atmospheric pressure plasma etching process [C] . K. Yamamura, Y. Yamamoto, T. Morikawa, International conference on phenomena in ionized gases;ICPIG 2007 . 2007

机译：使用无掩模局部大气压等离子体蚀刻工艺对AT切割石英晶片进行均匀化处理
5. Semiconductor Nanofabrication via Metal-Assisted Chemical Etching: Ternary III-V Alloys and Alternative Catalysts [D] . Wilhelm, Thomas S. 2019

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6. Maskless and low-destructive nanofabrication on quartz by friction-induced selective etching [O] . Chenfei Song, Xiaoying Li, Shuxun Cui, 2013

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7. Maskless micro/nanofabrication on GaAs surface by friction-induced selective etching [O] . Peng Tang, Bingjun Yu, Jian Guo, 2014

机译：通过摩擦诱导的选择性蚀刻在GaAs表面进行无掩模微/纳米加工

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