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机译:纤维素的光刻图案:适用于高级应用的多功能双色调光刻胶
Archim Wolfberger; Andreas Petritz; Alexander Fian; Jakob Herka; Volker Schmidt; Barbara Stadlober; Rupert Kargl; Stefan Spirk; Thomas Griesser;
机译:使用双色调热激活光刻胶在柔性基板上进行自对准图案化
机译:直接照明理想的聚噻吩作为双音光致抗蚀剂
机译:基于模型的库方法在高级光刻中光刻胶图案形状测量中的应用
机译:先进的工艺技术,用于在集成电路制造中去除图案化的离子注入光刻胶
机译:高温紫外线阳性光致抗蚀剂的组成和光刻过程
机译:光致抗蚀剂组合物和形成光照相图案的方法
机译:光刻胶组合物和形成光刻图案的方法
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