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【2h】

The impact of thickness and thermal annealing on refractive index for aluminum oxide thin films deposited by atomic layer deposition

机译：厚度和热退火对原子层沉积氧化铝薄膜折射率的影响

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Zi-Yi Wang; Rong-Jun Zhang; Hong-Liang Lu; Xin Chen; Yan Sun; Yun Zhang; Yan-Feng Wei; Ji-Ping Xu; Song-You Wang; Yu-Xiang Zheng; Liang-Yao Chen;
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年度 2015
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