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【2h】

Fabrication mechanism of friction-induced selective etching on Si(100) surface

机译：Si（100）表面摩擦诱导选择性刻蚀的制备机理

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作者
Jian Guo; Chenfei Song; Xiaoying Li; Bingjun Yu; Hanshan Dong; Linmao Qian; Zhongrong Zhou;
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年度 2012
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