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【2h】

A fast thermal-curing nanoimprint resist based on cationic polymerizable epoxysiloxane

机译：基于阳离子可聚合环氧硅氧烷的快速热固化纳米压印抗蚀剂

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作者
Jizong Zhang; Xin Hu; Jian Zhang; Yushang Cui; Changsheng Yuan; Haixiong Ge; Yanfeng Chen; Wei Wu; Qiangfei Xia;
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年度 2012
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