机译:六氟化硫感应耦合等离子体刻蚀气溶胶沉积钛酸钡的特性及机理
机译:通过六氟化硫电感耦合等离子体刻蚀对钛酸钡进行气溶胶沉积微图案化
机译:钛酸钡薄膜的等离子体刻蚀速率与施加的RF功率和Ar / CF_4混合气体混合比的关系
机译:电感耦合等离子体反应离子蚀刻钛酸铅薄膜用于MEMS应用
机译:使用感应耦合等离子体反应器生产钡铁氧体薄膜。
机译:六氟化硫气体和后退火处理对电感耦合等离子体刻蚀钛酸钡薄膜的影响
机译:不同氟基混合气体使用电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的比较分析
机译:用氩(ar),四氟化碳(CF4)和六氟化硫(sF6)混合物反应离子刻蚀钛酸锶钡薄膜的研究