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机译:基于晶体平面取向的原子力显微镜基于的碳化硅局部氧化
Jung-Joon Ahn; Yeong-Deuk Jo; Sang-Cheol Kim; Ji-Hoon Lee; Sang-Mo Koo;
机译:使用原子力显微镜改善碳化硅的局部氧化
机译:原子力显微镜对硅表面的局部阳极氧化
机译:研究4H-碳化硅-碳化硅上低温原子沉积的氧化物及其对碳化硅/二氧化硅界面的影响。
机译:从原子硅离子中气相形成碳化硅,氧化物和硫化物
机译:纤维增强的碳化硅复合材料,纤维增强的碳化硅复合材料的制造方法,以及纤维增强的碳化硅复合材料的用途
机译:纤维增强的碳化硅复合材料,纤维增强的碳化硅复合材料的制造方法以及纤维增强的碳化硅复合材料的用途
机译:形成氧化物膜的方法,半导体装置,制造半导体装置的方法和装置,氧化硅碳化物和硅碳化物MOS半导体器件和硅碳化物的方法,用于该方法的集成电路器件和碳化硅MOS集成电路
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