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【2h】

Surface roughness analysis of SiO2 for PECVD, PVD and IBD on different substrates

机译：不同基材上用于PECVD，PVD和IBD的SiO2的表面粗糙度分析

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Muhammad Rizwan Amirzada; Andreas Tatzel; Volker Viereck; Hartmut Hillmer;
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年度 2015
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