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【2h】

Structure and electrical properties of sputtered TiO2/ZrO2 bi-layer composite dielectrics upon annealing in nitrogen

机译：氮中溅射TiO2 / ZrO2双层复合电介质的结构和电性能

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Ming Dong; Hao Wang; Cong Ye; Liangping Shen; Yi Wang; Jieqiong Zhang; Yun Ye;
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年度 2012
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