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【2h】

Imaging of nanostructures with sub-100 nm spatial resolution using a desktop EUV microscope

机译：使用台式EUV显微镜以小于100 nm的空间分辨率成像纳米结构

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Przemyslaw W. Wachulak; Andrzej Bartnik; Henryk Fiedorowicz; Dalibor Pánek; Petr Brůža;
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年度 2012
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1. Imaging of nanostructures with sub-100 nm spatial resolution using a desktop EUV microscope [J] . Przemyslaw W. Wachulak, Andrzej Bartnik, Henryk Fiedorowicz, Applied physics . 2012,第1期

机译：使用台式EUV显微镜以低于100 nm的空间分辨率成像纳米结构
2. Characterization of Si nanostructures using a noncontact mode scanning near-field optical Raman microscope, with 100 nm spatial resolution and 5 nm depth resolution, using ultraviolet resonant Raman scattering [J] . M. Yoshikawa, M. Murakami, H. Ishida Applied Physics Letters . 2007,第13期

机译：使用非接触模式扫描近场光学拉曼显微镜，空间分辨率为100 nm和深度分辨率为5 nm，使用紫外共振拉曼散射对Si纳米结构进行表征
3. Bioimaging Using Full Field and Contact EUV and SXR Microscopes with Nanometer Spatial Resolution [J] . Przemys?aw Wachulak, Alfio Torrisi, Mesfin Ayele, Applied Sciences . 2017,第6期

机译：使用具有纳米空间分辨率的全视场和接触EUV和SXR显微镜进行生物成像
4. A Transmission X-ray Microscope (TXM) for Non-destructive 3D Imaging of ICs at Sub-100 nm Resolution [C] . Steve Wang, Frederick Duewer, Shashidar Kamath, 28th International Symposium for Testing and Failure Analysis, Nov 3-7, 2002, Phoenix, Arizona . 2002

机译：透射X射线显微镜（TXM），用于以低于100 nm的分辨率对IC进行无损3D成像
5. Understanding the effect of spatial resolution on unmixing algorithms for hyperspectral imagery. [D] . Santos Garcia, Andrea. 2010

机译：了解空间分辨率对高光谱图像分解算法的影响。
6. Nondestructive high-resolution chemically specific 3D nanostructure characterization using phase-sensitive EUV imaging reflectometry [O] . Michael Tanksalvala, Christina L. Porter, Yuka Esashi, 2021

机译：非破坏性高分辨率化学特异性3D纳米结构使用相位敏感的EUV成像反射测量
7. Soft x-ray spectroscopy from image sequences with sub-100 nm spatial resolution [O] . C. Jacobsen, S. Wirick, G. Flynn 2015

机译：来自具有亚100nm空间分辨率的图像序列的软X射线光谱

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