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【2h】

CMOS-Compatible Top-Down Fabrication of Periodic SiO Nanostructures using a Single Mask

机译：使用单个掩模的周期性SiO纳米结构的CMOS兼容自上而下的制造

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2. Phase Shift Mask Fabrication by Laser Microlens Array Lithography for Periodic Nanostructures Patterning [J] . Zhiqiang Huang, Qun Ying Lin, Minghui Hong Journal of Laser Micro/Nanoengineering . 2010,第3期

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3. Top-down fabrication of plasmonic nanostructures for deterministic coupling to single quantum emitters [J] . Pfaff Wolfgang, Vos Arthur, Hanson Ronald Journal of Applied Physics . 2013,第2期

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4. Fabrication of nanostructured biointerfaces by integrating top-down and bottom-up approaches for single molecule immunoassays [C] . Nobuhiro Matsumoto, Yan Xu World biomaterials congress . 2012

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5. Bioinspired large scale fabrication of periodic nanostructures . [D] . Min, Wei-Lun. 2010

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7. Tunable top-down fabrication and functional surface coating of single-crystal titanium dioxide nanostructures and nanoparticles [O] . Dekker, N.H., Ha, S., Janissen, R., 2016

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