机译:Cu和SiO_2之间原子层沉积沉积Ru-AlO薄膜的界面粘合能:Ru-AlO薄膜组成的影响
机译:详细研究臭氧基原子层沉积的AlO_X的界面性质对晶体硅表面钝化的影响
机译:在多层栅堆叠中使用原子层沉积的Hf AlO_x进行氧空位缺陷工程
机译:p型c的单层脉冲式直流反应溅射AlO
机译:用于电介质,半导体钝化和固体氧化物燃料电池的原子层沉积薄膜。
机译:a-Si:H(i)/ Al2O3表面钝化堆栈中原子层沉积的Al2O3膜的氧化前体依赖性
机译:使用AlO势垒层控制原子层沉积的AlO / LaO / AlO栅堆叠中的硅扩散控制