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【2h】

Si nanopatterning by reactive ion etching through an on-chip self-assembled porous anodic alumina mask

机译：通过片上自组装多孔阳极氧化铝掩模通过反应离子刻蚀进行Si纳米图案化

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Violetta Gianneta; Antonis Olziersky; Androula G Nassiopoulou;
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年度 2013
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