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【2h】

Versatile pattern generation of periodic, high aspect ratio Si nanostructure arrays with sub-50-nm resolution on a wafer scale

机译：晶圆级以下50nm分辨率的周期性高纵横比Si纳米结构阵列的多功能图案生成

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Jian-Wei Ho; Qixun Wee; Jarrett Dumond; Andrew Tay; Soo-Jin Chua;
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年度 2013
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Versatile pattern generation of periodic, high aspect ratio Si nanostructure arrays with sub-50-nm resolution on a wafer scale

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