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【2h】

Amorphization and Solid-Phase Epitaxial Growth of C-Cluster Ion-Implanted Si

机译：C团离子注入硅的非晶化及固相外延生长

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N.G. Rudawski; L.R. Whidden; V. Craciun; K.S. Jones;
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年度 2009
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1. Amorphization and Solid-Phase Epitaxial Growth of C-Cluster Ion-Implanted Si [J] . N.G. RUDAWSKI, L.R. WHIDDEN, V. CRACIUN, Journal of Electronic Materials . 2009,第9期

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3. Effect of germanium pre-amorphization on solid-phase epitaxial regrowth of antimony and arsenic ion-implanted silicon [J] . Shahram Ghanad Tavakoli, Sungkweon Baek, Hyunsang Hwang Materials Science and Engineering. B, Solid-State Materials for Advanced Technology . 2004,第Dec期

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