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Structural and electrical properties of oxygen complexes in Cz and FZ silicon crystals implanted with carbon ions

机译：注入碳离子的Cz和FZ硅晶体中氧配合物的结构和电学性质

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Boris Romanyuk; Victor Melnik; Valentin Popov; Vilik Babich; Vasyl Kladko; Olexandr Gudymenko; Volodimir Ilchenko; Iegor Vasyliev; Andrii Goriachko;
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年度 2015
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1. Structural and electrical properties of oxygen complexes in Cz and FZ silicon crystals implanted with carbon ions [J] . Boris Romanyuk, Victor Melnik, Valentin Popov, Nanoscale Research Letters . 2014,第1期

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2. Recrystallization of implanted amorphous silicon layers. I. Electrical properties of silicon implanted with BF+2 or Si++B+ [J] . Journal of Applied Physics . 1979,第1期

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