FABRIKASI DAN KARAKTERISASI SENSOR KONDUKTIVITAS BERBASIS TEKNOLOGI FILM TEBAL UNTUK ANALISIS KUALITAS AIR

摘要

Teknologi film tebal merupakan salah satu teknik dalam fabrikasi komponenkomponenudmikroelektrik. Dengan teknologi ini, ukuran komponen-komponenudelektronik dapat dibuat menjadi lebih kecil tanpa mengurangi kemampuannya.udDalam penelitian ini dibuat sensor konduktivitas air yang berbasis teknologi filmudtebal dengan metode screen printing. Elektroda sensor konduktivitas dibuat dariudbahan AgPd yang merupakan konduktor yang cukup baik. Elektroda dilapisi padaudsubstrat Alumina 96% dengan konstanta sel desain sekitar 50 cm-1. Agarudpengukuran konduktivitas menjadi lebih valid, sensor temperatur yangudelektrodanya terbuat dari campuran Ru-based dengan Polyethilene Glycoluddiintegrasikan dengan sensor konduktivitas dan ditempatkan pada sisi substrateudyang lain. Jenis sensor temperatur yang dibuat merupakan jenis RTD (ResistanceudTemperatur Detector) dengan sensitivitas sebesar 0,0014 kΩ/°C. Sensitivitasudsensor temperatur dengan elektroda campuran PEG denga Ru-based lebih besaruddari pada sensor temperatur dengan elektroda berbahan Ru-based saja yangudmemiliki sensitivitas 0,0002 kΩ/°C. Persamaan konduktansi terukur sensor (C)uddengan konduktivitas larutan uji (σ) dapat dinyatakan sebagai C = (1,6707σ +ud0,0268) mS. Dari persamaan tersebut didapatkan sensitivitas sensor sebesarud1,6707 cm serta nilai konstanta sel pengukuran sekitar 0,6 cm-1. Kemudian waktuudyang dibutuhkan sensor agar pengukuran benar-benar stabil ialah empat menit.udSensor dapat merespon perubahan temperatur dengan baik. Dengan menggunakanudpersamaan hubungan antara konduktansi (C) terukur dengan temperatur (T) yaituudC = (0,0056T + 0,0733) mS serta konduktansi acuan 0,211 mS, faktor kompensasiudtemperatur (α) larutan uji KCl yang diperoleh ialah 2,65%/°C. Nilai ini sesuaiuddengan referensi yang menyatakan nilai α larutan garam berada pada rentang 2,2-ud3%/°C.---------Thick film technology is one of technique in fabrication microelectronicudcomponents. With this technology, size of components electronic can be smallerudwithout deduct it’s ability. This research aims to make water conductivity sensorudbasically thick film technology with screen printing method. The electrode ofudconductivity sensor made from AgPd which form good conductor. The electrodeudlayer on substrat Alumina 96% with constant cell desain about 50 cm-1. Forudaiming the validity of measurements conductivity, the temperature sensor withudelectrode made from mixture paste from Ruthenium based and PolyethileneudGlycol has been integrated with conductivity sensor. kind of this temperature isudRTD (Resistance Temperatur Detector) with sensitivity 0,0014 kΩ/°C. Thatsudsensitivity bigger than temperature sensor which only made from Rutheniumudbased with 0,0002 kΩ/°C. The equation conductance sensor (C) with conductivityud(σ) is C = (1,6707σ + 0,0268) mS. From this equation we can found the sensitivityudsensor about 1,6707 cm and measuring constant cell 0,6 cm-1. The measuringudsensor reach stable condition abaout four minutes. Sensor conductivity have goodudrespon on different temperature solution. With use the equation betweenudconductance (c) and temeprature solution (T), C = (0,0056T + 0,0733) mS, andudreference conductance 0,211 mS, factor compensation temperature (α) ofudsolution KCl about 2,65%/°C. This value appropriate with the reference value ofudα salt solution between 2,2-3%/°C.