Застосування віртуальної лабораторної роботи «Вакуумний універсальний пост–5М» при викладанні курсу «Технологія тонких плівок»

摘要

Віртуальна лабораторна робота «ВУП – 5М» дає можливість відтворювати процес вакуумної конденсації і термообробки тонких плівок металів та напівпровідників.