Вплив електричного поля на ріст конденсатів при малих пересиченнях у системі плазма-конденсат

摘要

В даній роботі використовується система «плазма–конденсат», створена на основі магнетронного розпилювача та пустотілого катоду, в якій підкладки розташовуються в катодному вузлі і речовина конденсується в зворотних дифузійних потоках. Від'ємний потенціал та присутність електричного поля над ростовою поверхнею суттєво впливають на рух