Розроблення радіочастотного датчика товщини провідних плівок на діелектричній основі

摘要

Відомо, що в більшості випадків властивості плівок визначаються їх товщиною. Однак контролювання та вимірювання останньої залишається проблемною задачею. На сьогодні розвинуті різні методиudвимірювання товщини плівок.