Формирование многослойного сверхтвердого покрытия Ti-Hf-Si-N/NbN/Al2O3 для высокоэффективной защиты

摘要

Впервые получены многослойные твердые микро- и наноструктурные покрытия, полученные несколькими технологиями осаждения на основе Ti-Hf- Si-N/NbN/Al2O3 на подложку из стали. Обнаружено, что исследуемые покрытия, наряду с высокой твердостью (H) от 47 до 56 GPa и модулем упругости (E) от 435 до 570 GPa, индексом пластичности We=(0.08-0.11), имеют достаточно низкий коэффициент трения (mu), величина которого варьируется в пределах от 0.02 до 0.001 при заданных режимах осаждения. Показано, что эти многослойные покрытия обладают высокой термической стабильностью (свыше 1000oC).При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33944