Пристрій для формування вакуумних конденсатів

摘要

Пристрій для формування вакуумних конденсатів містить охолоджуваний водою катодний вузол, анод, за який використані стінки робочої камери. Катодний вузол циліндричної форми складається з мішені, виготовленої із розпилювального матеріалу, тримача мішені, до якого прилягає магнітна система у вигляді постійних магнітів. Тримач мішені виготовлений із матеріалу, що має високу теплопровідність, і забезпечує відвід теплоти від мішені, яка кріпиться в його нижній частині, та підкладку, розміщену безпосередньо на тримачі мішені в отворі, який виконаний в центральній частині мішені. До підкладки прилягає заслінка, діаметр якої дорівнює діаметру отвору і яка може бути виведена із катодного вузла за допомогою штанги. Пристрій дозволяє забезпечити повний контроль над процесом конденсації та отримувати шари з різною архітектурою для будь-яких провідникових матеріалів.При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/11026