Плівкові тверді розчини на основі Ni і Cu як матеріал чутливих елементів низькоомних терморезисторів

摘要

Широке використання двокомпонентних плівкових матеріалів у мікроелектроніці, спінтроніці і сенсорній техніці постійно стимулює дослідження температурних і концентраційних ефектів у їх властивостях, оскільки в таких системах можуть стабілізуватися інтерметалідні фази, гранульовані та упорядковані тверді розчини (т.р.). Дослідження властивостей плівок на основі Ni і Cu є актуальними, оскільки такі матеріали виступають як замінники дорогих благородних металів при виготовленні чутливих елементів терморезисторів і низькоомних резисторів та струмопровідних доріжок.